袋進袋出系統(tǒng)利用氣密袋安全進行的過濾系統(tǒng)。袋進袋出過濾器的組成類似于組合式空調(diào)機組,是根據(jù)使用需要將不同的功能單元組合拼裝于袋進/ 袋出箱體(BIBO Housing)內(nèi)。常用的功能單元包括:預(yù)過濾器(Pre-filter)、高效粒子過濾器( H E P A )、高效氣體吸附過濾器(HEGA)、精細掃描檢測裝置(Precision ScanTest Sections)等。
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